日立光譜儀維修手持式XRF光譜儀常見故障的維修方法
1、排氣不暢，氬氣排氣管堵塞，火花室下部彎頭有異物，氬氣過濾器進口有異物
維修方法：更換排氣管，更換透明塑料管，定期吹掃排氣管。
2、高溫故障
維修方法：檢查儀器后蓋上的風扇是否轉動，轉動是否靈活。
3、真空泵不自動啟動
維修方法：首先檢查泵油溫度是否低。 再次關閉電源后，手動啟動真空泵。 有時需要暫停一段時間再試一次。
4、熒光光譜儀P和S的穩定性不好。 檢查真空泵是否誤關，真空光路透鏡是否需要清洗。 維護不善的光路將導致錯誤的重現性和分析結果
維修方法：檢查真空泵，清洗鏡頭
5、真空值快速下降故障
維修方法：檢查真空值曲線是否平整，否則，如果有漏氣現象，檢查真空室真空蓋的密封性，更換密封圈或對角緊固螺釘。
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